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Low Frequency Vibration Measurement System of MEMS 3D Micro Tactile Probe
MEMS三维微触觉测头的低频振动测试系统
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研究了石英调谐音叉控制T-S间剪切力作用的机制，建立了音叉T-S系统的振动方程，理论分析了音叉电流I和T-S间距d的关系，建立了T-S间剪切力作用机制模型。
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为分析外界振动对扫描探针显微镜（SPM）针尖-样品副的影响，提出抑振系数的概念。
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Localization Design of 8mm Electric Eddy Displacement/ Vibration Sensing Probe
8mm电涡流位移/振动传感器探头的国产化设计
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